تمیز کردن پلاسما یک روش اثبات شده، موثر، اقتصادی و ایمن برای محیط زیست برای آماده سازی سطوح بحرانی است.تمیز کردن پلاسما با پلاسمای اکسیژن، روغن‌ها و گریس‌های طبیعی و فنی را در مقیاس نانو از بین می‌برد و در مقایسه با روش‌های سنتی تمیز کردن مرطوب، از جمله باقی‌مانده‌های پاک‌کننده با حلال، آلودگی را تا ۶ برابر کاهش می‌دهد.تمیز کردن پلاسما تولید می کندیک سطح بکر، آماده برای چسباندن یا پردازش بیشتر، بدون مواد زائد مضر.

نحوه عملکرد پاکسازی پلاسما

نور فرابنفش تولید شده در پلاسما در شکستن بیشتر پیوندهای آلی آلاینده های سطحی بسیار موثر است.این به جدا شدن روغن و گریس کمک می کند.دومین عمل پاکسازی توسط گونه های پرانرژی اکسیژن ایجاد شده در پلاسما انجام می شود.این گونه‌ها با آلاینده‌های آلی واکنش داده و عمدتاً آب و دی‌اکسید کربن را تشکیل می‌دهند که به طور مداوم در طول پردازش از محفظه خارج می‌شوند (پمپ می‌شوند).

اگر بخشی باشدپلاسما تمیز شده شامل موادی است که به راحتی اکسید می شوندبه جای آن از موادی مانند نقره یا مس، گازهای بی اثر مانند آرگون یا هلیوم استفاده می شود.اتم ها و یون های فعال شده با پلاسما مانند یک سند بلاست مولکولی رفتار می کنند و می توانند آلاینده های آلی را تجزیه کنند.این آلاینده ها دوباره تبخیر شده و در طی پردازش از محفظه تخلیه می شوند.